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    臺階儀
    臺階儀臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式。臺階儀測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時,觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。經放大與相敏整流后,可將位移信號從調幅信號中解調出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。臺階儀測量精度較高、量程大、測量結果穩定可靠、重復性好。
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