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    X射線能譜儀
    X射線能譜儀X射線能譜儀進行成分分析時,一般有三種基本的工作方式,分別為:定點分析、線掃、面掃。根據不同的測試目的,可以選擇相應的分析模式。當測試樣品為非均質樣品時,可以使用線掃、面掃得到非常直觀的結果。X射線能譜儀主要用途:1.表面定性與定量分析。2.維持10um以下的空間分辨率元素成分包括化學態的深度分析。3.成像功能。4.可進行樣品的原位處理。
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